方阻测试仪

测试程序控制四探针测试仪进行测量并实时采集两次组合模式下的测试数据，把采集到的数据在计

算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在电脑

中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到 Excel 中，让用户对数据进行各种

数据分析

技 术 指 标 ：

测量范围

电阻率：10-5～105 Ω.cm(可扩展)；

方块电阻：10-4～106 Ω/□(可扩展)；

电导率：10-5～105 s/cm；

电阻：10-5～105 Ω；

可测晶片厚度

≤3mm

可测晶片直径

140mmX150mm(配 S-2A 型测试台)；

200mmX200mm(配 S-2B 型测试台)；

400mmX500mm(配 S-2C 型测试台)；

恒流源

电流量程分为 1µA、10µA、100µA、1mA、10mA、100mA 六档，各档电流

连续可调

数字电压表

量程及表示形式 000.00～199.99 mV；

分辨力：10µV；

输入阻抗＞1000MΩ；

精度：±0.1% ；

显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示；

四探针探头基本指标

间距：1±0.01mm；

针间绝缘电阻：≥1000MΩ；

机械游移率：≤0.3％；

探针：碳化钨或高速钢 Ф0.5mm；

探针压力：5～16 牛顿(总力)；

四探针探头应用参数 (见探头附带的合格证)

模拟电阻测量相对误差

( 按 JJG508-87 进行)

0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3％±1 字

整机测量*大相对误差 (用硅标样片:0.01-180Ω.cm 测试) ≤±4％

整机测量标准不确定度 ≤4％

计算机通讯接口 并口

标准使用环境

温度：25±5℃；

相对湿度：≤65％；

无高频干扰；